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上海沃家MSC真空磁控溅射镀膜机
浏览: 发布日期:2018-08-23

上海沃家真空设备科技有限公司是国内领先的真空镀膜工程集成供应商,本公司的真空镀膜设备应用于国内外中,高端客户市场,如:3C电子产品、能源、汽车、建筑、纳米材料、生物医疗、太阳能光伏等行业。其中:ASC系列镀膜设备所加工的产品具有结合力强,涂层细腻,色泽高档的特点;HMC汽车大灯专用镀膜设备,利用最先进的PVD结合PECVD制程,提高良品率,减少生产成本;OEC光学镀膜设备,设计先进,配置合理,可有偿提供百层以上的光学薄膜工艺。

上海沃家MSC真空磁控溅射镀膜机(图1)

详细说明:真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。所谓"溅射"就是用荷能粒子(通常用气体正离子)轰击物体,从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象。早在1842年Grove在实验室中就发现了这种现象。磁控溅射靶采用静止电,为曲线形,均匀电场和对数电场则分别用于平面靶和同轴圆柱靶。电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞。若电子具有足够的能量(约为30ev)时,则电离出Ar+并产生电子,电子飞向基片,Ar+在电场作用下,加速飞向阴极(溅射靶)并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。

1)膜厚可控性和重复性好。能够可靠的镀制预定厚度的薄膜,并且,溅射镀膜可以在较大的表面上获得厚度均匀的膜层;

2)薄膜与基片的附着力强。部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原子相互溶合的伪扩散层;

3)制备特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜、化合膜,还可溅射成TiN仿金膜;

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