主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思是分成蒸发和溅射两种。

4.开机械泵、预抽,开涡轮泵电源、并启动,线.观察涡轮泵读数到达250以后,关预抽,开前级泵和高真空阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察线以后才能打开电子枪电源。

2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及灯亮,三分钟后延时及灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,灯会常亮。

3.开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。